Модели с высокой степенью сжатия
В данном разделе представлены турбомолекулярные насосы, которые могут быть использованы в двух качествах: для откачки легких газов, в том числе водорода, а также для минимизации форвакуумной ступени, при работе с обычными газами. Данные модели имеют высокие скорости откачки и степени сжатия.
Характеристики моделей представлены ниже в таблице (переход к габаритным размерам по клику на модель в таблице):
M - воздушное охлаждение
LM - водяное хлаждение
P - высокая степень сжатия
C - коррозионная стойкость
W - широкий рабочий диапазон
Характеристика |
TMP-1103MP |
TMP-1103LMP |
TMP-1103LMPC |
TMP-W2403LMC |
FT-3500D |
Подвеска ротора |
магнитная |
магнитная |
магнитная |
магнитная |
|
Охлаждение |
воздушное |
водяное |
водяное |
водяное |
водяное |
Предельный вакуум, Торр |
10-11 |
110-11 |
10-10 |
10-9 |
10-8 |
Максимальное давление на входе, Торр |
0.01 |
0.05 |
0.5 |
0.3 |
2.1 |
Максимальное давление на выходе, Торр |
2 |
6 |
6 |
2 |
|
Быстрота действия, л/с : |
по азоту |
1080 |
1080 |
1080 |
2100 |
3360 |
по аргону |
1040 |
1040 |
1040 |
2000 |
|
по водороду |
800 |
800 |
800 |
1770 |
|
по гелию: |
|
|
|
2240 |
|
Степень сжатия: |
по азоту |
>109 |
>109 |
>109 |
1х1011 |
5x109 |
по аргону |
107 |
107 |
107 |
по гелию : 4х106 |
|
по водороду |
106 |
106 |
106 |
1х105 |
1x106 |
Время выхода на режим, мин |
менее 5 мин |
менее 5 мин |
менее 5 мин |
менее 12 мин |
|
Рабочая ориентация |
любая |
любая |
любая |
любая |
|
Температура прогрева на входном фланце, оС |
<120 |
<120 |
<120 |
<120 |
|
Входной фланец стандартов ISO, ConFlat |
Ду 200 |
Ду 200 |
Ду 200 |
Ду 250 |
|
Допустимое внешнее магнитное поле, Радиальное / осевое, мT |
3/15 |
3/15 |
3/15 |
3/15 |
|
Вес, кг |
32кг |
32кг |
32кг |
72 кг |
11 кг |
Для каждой серии поставляется соответствующий блок питания : для TMP-1103 : EI-D1103M, для TMP-2403: EI-D2303M.
Дополнительные технические характеристики
Ниже показан пример использования данных насосов для откачки обычных газов. Благодаря высокой степени сжатия по водороду, для обслуживания пары турбомолекулярных насосов требуется всего лишь один форвакуумный насос малой производительности, что значительно сокращает стоимость вакуумной системы.
|
