С каталогом вакуумного оборудования от компании Kurt Lesker можно ознакомится здесь .
7-я Международная специализированная выставка "Криоген-Экспо 2008"
Москва, Экспоцентр на Красной Пресне
11-13 Ноября
www.cryogen-expo.ru .
Мишени для процессов осаждения включают в себя:
Компания Protech Materials предлагает связанные и не связанные мишени и подложки. Ниже приведены списки некоторых мишеней, которые мы можем предложить.
Мишени металлического напыления
Материалы (сплавы) Символ Чистота
Индий In
99.99% ~ 99.999%
Индий олово InSn
99.99% ~ 99.999%
Тантал Ta
99.95% ~ 99.99%
Ниобий Nb
99.95% ~ 99.99%
Вольфрам W
99.95%
Молибден Mo
99.95%
Хром Cr
99~99.95%
Цинк олово ZnSn
99.9%
Титан алюминий TiAl
99.8%
Медь индий галлий CIG
99.99%
Титан вольфрам TiW
99.95~99.995%
Никель хром NiCr20%
99.7% ~ 99.9%
Никель ванадий NiV7%
99.9%
Мишени керамического напыления
Оксид индия и олова ITO
99.99%
Оксид цинка ZnO
99.99%
Оксид цинка с примесью алюминия AZO
99.99%
Сульфид кадмия CdS
99.99%
Силикон(Poly или Mono) Si
99.999%
Диборид циркония ZrB2
99.9%
Диборид титана TiB2
99.9%
Карбид силикона SiC
99.7%
Нитрид бора BN
99.9%
Нитрид силикона Si3N4
99.5%
Теллурид кадмия CdTe
99.995%
Оксид магния MgO
99.95%
Германий Ge
99.999%
