Производство насосов в компании Kashiyama началось в 1951 году. В 1986 году Kashiyama выпустила первый в мире безмасляный винтовой насос. Сегодня ей принадлежит около 20% мирового рынка промышленных безмасляных вакуумных насосов, а в технологических производствах таких стран, как Япония и Китай, доля насосов этой компании превышает 50%. Многоступенчатые нососы Рутса и винтовые насосы японской компании Kashiyama отвечают всем требованиям современных производств и технологий по созданию чистого вакуума.

Их основными показателями являются исключительная надежность, в том числе в самых «тяжелых» приложениях, высокая степень чистоты создаваемого вакуума, высокие скорости откачки, малое энергопотребление и компактность.

Главный лозунг компании сегодня - стать поставщиком №1 безмасляных насосов на мировом рынке!

На российский рынок поставляется три серии насосов MU, SDL и SDE.

Области применения насосов Кashiyama:

Насосы серии MU производительностью от 1660 до 20000 л/мин используются во всех приложениях, не связанных с откачкой коррозионных или химически-активных газов. Насос основан на принципе двухроторного пятиступенчатого насоса Рутса предварительной откачки и бустерного насоса Рутса. Между вращающимися лопастями роторов поддерживается прецизионный зазор, который позволяет создавать достаточное вакуумное уплотнение без масляной пленки.

Основными преимуществами насосов этой серии, в сравнении с аналогичной продукцией других известных производителей, являются:

- полное отсутствие загрязнений откачиваемого объема  
- компактность (на 50% меньше)
- малый вес (на 50% легче)
- малое энергопотребление
- малая вибрация и шум

В конструкции насоса предусмотрен порт для продувки сухим азотом или другим инертным газом при откачке сред с малым содержанием коррозионно-активных примесей.

Характеристики насосов серии MU:

Кривые откачки для насосов серии MU приведены ниже на рисунке

Насосы серии SDL – это комбинация  базового и бустерного насосов Рутса высокой производительности. 

Характеристики насосов серии SDL:

Кривые откачки насосов серии SDL показаны ниже на рисунке

Вернуться наверх

Вертикальный дизайн насосов Kashiyama обеспечивает лучшее вакуумное уплотнение. Для обеспечения надежной откачки коррозионных газов ротор и корпус насоса выполнены из сплава никеля. Насосы серии SDE прошли успешное испытание в «тяжелых» условиях процесса  химического осаждения паров нитрида титана (CVD, Ti Nitride) на установке “Centura” производства компании  Applied Materials (США). Срок работы насосов других известных производителей ограничивался 1-2 месяцами. В результате, они были заменены насосами серии SDE, которые работают в этой установке непрерывно уже 9000 часов по настоящее время. 

Основные преимущества насосов этой серии :

• надежность в реальных условиях эксплуатации;  
• полное отсутствие загрязнений откачиваемого объема; 
• коррозионная стойкость
• модели с пониженной внутренней температурой до 150С для W-СVD  и др. процессов, чтобы избежать прилипания остаточных продуктов процесса на рабочих поверхностях;  
• двигатель постоянного тока, вследствие чего производительность насоса не зависит от изменения частоты питающего напряжения.

Характеристики насосов серии SDE:

* Литера "X" в номере модели насоса означает, что данный насос является энергосберегающим

Вернуться наверх