Модель с плазменной картой (SMPA-)*1

Сенсорная модель (MPA6-)*1

Модель

1-2/45

11-2/45

7-2/65

5-2/65

5-2/100

1-4/300

1-2/45

11-2/45

7-2/65

5-2/65

5-2/100

1-4/300

Диапазон массовых чисел (AMU)

От 2 до 45

От 2 до 45

От 2 до 65

От 2 до 65

От 2 до 100

От 4 до 300

От 2 до 45

От 2 до 45

От 2 до 65

От 2 до 65

От 2 до 100

От 4 до 300

Разрешение 

0,5 AMU

1,5 AMU

0,9 AMU

0,8 AMU

1 AMU

1,5 AMU

0,5 AMU

1,5 AMU

0,9 AMU

0,8 AMU

1 AMU

1,5 AMU

Максимальное рабочее давление (по азоту)

0,133 Па  1 мТорр

1,466 Па 11 мТорр

0,933 Па  7 мТорр

0,666 Па  5 мТорр

0,666 Па  5 мТорр

0,133 Па   1 мТорр

0,133 Па  1 мТорр

1,466 Па 11 мТорр

0,933 Па  7 мТорр

0,666 Па  5 мТорр

0,666 Па  5 мТорр

0,133 Па 1 мТорр

Минимальное определяемое парциальное давление

1,33?10-8 Па (N2)

Минимально определяемая степень натекания (по He)

2?10-9 Па·м3/с
2?10-8 атм·см3/с

2?10-8 Па·м3/с
2?10-7 атм·см3/с

2?10-9 Па·м3/с
2?10-8 атм·см3/с

2?10-9 Па·м3/с
2?10-8 атм·см3/с

2?10-8 Па·м3/с
2?10-7 атм·см3/с

2?10-9 Па·м3/с
2?10-8 атм·см3/с

Материал нити сенсора

Y2O3/Ir (стандартная) или чистый вольфрам

Максимальна рабочая температура

150°С (максимальная температура прогрева [сенсорная часть]: 350°С)

Присоединительный фланец

Тип С: CF35; Тип K: KF16

Модель спектро-преобразователя

SC6-18

SC6-14

SC6-11

SC6-07

SC6-18

SC6-14

SC6-11

Интерфейс

RS232C/RS485 (скорость обмена: 9600/19200/38400)

Программное обеспечение

Win MPA (Microsoft Windows XP 2000, Me, NT 4.0, 95/98, 3.1, 3.11)