Модель |
LF-F20M-A |
LF-F30M-A |
LF-F40M-A |
LF-F50M-A |
LF-F60M-A |
LV-F20
( РO/MO) |
LV-F30 (PO/MO) |
LV-F40
(РO/MO) |
LV-F50 (PO/MO) |
LV-F60 (PO/MO) |
Расход |
0,02/0,05/0,1 |
0,2/0,5 |
1/2/5 |
10/20 |
50/100 |
0,02/0,05/0,1 |
0,2/0,5 |
1/2/5 |
10/20 |
50/100 |
Диапазон измерения |
От 5 до 100% F.S.* |
Используемые жидкости*1 |
Все жидкости, кроме коррозионных к нержавеющей стали (например, HCl и HF) |
Вязкость*2 |
макс. 0,1 Па·с (100 cp) |
макс. 0,01 Па·с (10 cp) |
Точность*3 |
±1% F.S. |
Линейность |
±0,5% F.S. |
Воспроизводимость |
±0,5% F.S. |
Время отклика*4 |
Менее 3 секунд (T98) |
Менее 2 секунд (T98) |
Менее 3 секунд (T98) |
Менее 2 секунд (T98) |
Рабочая температура*5 |
От 5 до 50°С (гарантированная точность между 15 и 45°С) |
Температурный коэффициент |
±0,1% F.S./°С макс.±1% |
Рабочее давление*6 |
Макс. 5 МПа (как расходомер)/ от 50 до 300 кПа (с контрольным пьезо клапаном) |
От 0,05 до 0,3 МПа |
Перепад давления*7 |
макс. 500 Па |
– |
Сигнал расхода |
Аналоговый: от 0 до 5 В Цифровой RS485 |
Источник питания |
+15 В±5% 200 мА -15 В±5% 200 мА |
Натекание |
5?10-12 Па·м3/с (He) |
Тип PO менее чем 1?10-8 Па·м3/с (He) Тип MO менее чем 5?10-12 Па·м3/с (He) |
Материал в контакте с жидкостью |
SUS316L, Ni |
Тип PO SUS316L, Ni, PTFE, PFA Тип MO SUS316L, Ni |
Стандартное соединение |
1/16”, 1/8” уплотняемый в ручную, 1/8” VCR |
1/8” уплотняемый в ручную, 1/8” VCR |
1/4” уплотняемый в ручную, 1/4” VCR |
1/16”, 1/8” уплотняемый в ручную, 1/8” VCR |
1/8” уплотняемый в ручную, 1/8” VCR |
1/4” уплотняемый в ручную, 1/4” VCR |
*F.S. – полная шкала измерения
*1 Для серий LF/LV калибровка расхода производится с использованием заданного типа жидкости (Указывайте тип используемой жидкости при заказе прибора)
- жидкости содержащие твердую фазу не измеряются - Проконсультируйтесь с поставщиком, если планируете использовать прибор со смесью жидкостей, состав которой может меняться. – При использовании приборов типа LV для измерения жидкости содержащей мелкие частицы, установите фильтр 0,2 мкм (Abs) с основной стороны.
*2 Приборы типа LV в зависимости от расхода могут применяться при максимальной вязкости 0,01 Па·с. Проконсультируйтесь с поставщиком, если планируете использовать прибор для жидкостей с высокой вязкостью.
*3 Характеристики точности, линейности и повторяемости гарантируются при калибровки жидкости на основании SEMI E56-1296. *4 Эта характеристика корректируется функцией AUTO-PID с контрольным пьезо клапаном. *5 Обеспечивайте надлежащим образом точность измерения, следите чтобы температура входящей жидкости была не ниже 10°С и не выше 3°С температуры окружающей среды. *6 Характеристика рабочего давления соответствует диапазону давления при котором вязкость жидкости 0,001 Па·с. *7 Характеристика перепада давления определена при введении жидкости (вязкость 0,001 Па·с) при 100% F.S. точки измерения.
|
