Модель |
MI-1000 |
MV-1000 |
Тип жидкости |
Все жидкости, кроме коррозионных к нержавеющей стали (например, HCl и HF) |
Пример создания потока: TEOS (до 7г/мин), IPA (до 3сс/min) |
Макс. 5,0 CCM перевод (перевод жидкой фазы) |
Нагреватель |
120 В (100 Вт)/208 В (100 Вт)/240 В(100 Вт) |
Контрольный клапан: 120 В (100 Вт)/208 В (100 Вт)/240 В(100 Вт) Испаритель |
Смачиваемые части |
SUS316L, PFA |
Настройки температуры |
Макс. 140°С |
Управляющий клапан: макс. 140°С Испаритель: макс. 200°С |
Датчик температуры |
Термопара К типа |
Термопара К типа (Управляющий клапан, испаритель) |
Выключатель температуры |
Высокий допуск 2450RC 160°С (ELMWOOD) типа NC |
Управляющий клапан: 2450RC 160°С (ELMWOOD) типа NC Испаритель: 2450RC 250°С (ELMWOOD) типа NC |
Наружные утечки |
Менее чем 1?10-8 Па·м3/с (He) |
Полные утечки |
Управляющий клапан: менее чем 1?10-6 Па·м3/с (He) Вариант с воздушным клапаном: менее чем 1?10-9 Па·м3/с (He) |
Управляющий клапан: менее чем 1?10-6 Па·м3/с (He) Испаритель: менее чем 1?10-9 Па·м3/с (He) |
Стандартное соединение |
Вход для жидкости 1/8” VCR «папа», вход для газа 1/4” VCR «мама», выход для газа 1/4” VCR «папа» |
Вход для жидкости 1/8” VCR «папа», вход для газа 1/4” VCR «мама», выход для газа 1/2” VCR «папа» |
Рабочая температура |
От 15 до 50°С |
От 15 до 50°С |
Сопротивление давления |
1,0 МПа (G) |
1,0 МПа (G) |
Опции |
Пневматический клапан |
Пневматический клапан |
Масса (без кабеля) |
620±10 г (Стандартное исполнение), 700±10 г (исполнение с воздушным клапаном) |
1110±10 г (Стандартное исполнение), 1190±10 г (исполнение с воздушным клапаном) |
