Современные полупроводниковые технологии достигли нано-уровня и тематика многих исследований и производств, так или иначе ставит задачу стабильного воспроизведения химических/физических условий процесса. Особое внимание обращается на измерение и анализ остаточного газа в рабочих камерах различных вакуумных систем. HORIBA STEC предлагает анализаторы остаточного газа (RGA) с самым маленьким в мире квадрупольным масс-спектрометром.
Самое маленькое в мире исполнение системы масс-спектрометрии :
Самая маленькая и легкая в мире
Построена на девяти парах квадруполей
Может работать в условиях низкого вакуума (высокого давления) 1,46 Па (11 мТорр)
Высокая скорость измерения. Скорость сканирования: 0,6 сек/масс. Разрешение: 0,5 AMU. Предел обнаружения: 1-10-8 Па
Используются съемные и легло заменяемые сенсорные головки
Не требует дегазации
Возможность соединения с фланцем CF35
Доступны различные графические режимы для анализа остаточного газа
Анализатор остаточного газа включает в себя ионный источник, масс-спектрометр и измерительную часть. Остаточный газ ионизируется при столкновении с разряженными термо-электронами, испускаемыми высокотемпературной нитью. Образующиеся при этом ионы ускоряются и собираются в масс-спектрометре. В масс-спектрометре постоянное и переменное напряжение подается на четыре цилиндрических электрода (квадруполя), которые разделяют ионы по массе. Разделенные ионы определяются, как электрический ток в чаше Фарадея. Ионный ток пропорционален массе (парциальному давлению) остаточного газа.
Анализатор MicroPole™
Характеристики, которыми обладает анализатор остаточных газов Micropole™, обеспечиваются уникальным анализатором MicroPole™ (MPA), состоящий из девяти квадруполей, которые включают в себя все преимущества технологии обработки ультра-прецизионным оптическим травлением и технологии стыков стекло/металл. Развитие MPA позволило создать самый маленький в мире анализатор остаточного газа с похожей или лучшей чувствительностью по сравнении с традиционными и большими масс-спектрометрами. Сенсорный блок анализатора уже откалиброван под парциальное давление, и позволяет получить полное абсолютное и парциальные давления остаточных газов.
