Массовые расходомеры и регуляторы расхода жидкости
Компания Horiba STEC является одним из главных мировых производителей высокоточного оборудования для контроля расхода и состава газа и жидкости. Компания стала первым разработчиком цифровых и компактных расходомеров и регуляторов расхода, которые в настоящее время стали де-факто стандартом в высокотехнологичных отраслях промышленности. Технологии современных полупроводниковых устройств перешли на нано-технологический уровень. Это означает, что производственные процессы в этой области требуют особо точного контроля газов и жидкостей для создания тонких пленок, а также компактных устройств мониторинга, которые позволяют контролировать процессы, происходящие непосредственно внутри производственной камеры.
Цифровые модели регуляторов расхода Horiba протестированы и отобраны сегодня для всех своих производств такими известными производителями полупроводникового оборудования, как Applied Materials (США) и Tokyo Electron (Япония).
КОНТРОЛЛЕРЫ
МАССОВОГО РАСХОДА ГАЗА (РРГ)
Современные высокоточные и высокоскоростные устройства для измерения и поддержания заданных параметров по расходу газа в технологическую камеру.
Их применение – одна из важнейших частей при создании новой продукции, повышении ее качества и увеличения выхода годных изделий. Компания Horiba STEC создала несколько серий регуляторов массового расхода для различных приложений.
Основные преимущества РРГ Horiba STEC:
точность поддержания установленного значения ±1%
время отклика меньше 1сек. до любого значения,
современный цифровой интерфейс и специальное ПО для настройки и управления,
особо чистые, полностью металлические,
специальная конструкция управляющего клапана,
коррозионностойкие,
прогреваемые до 350
Основные серии контроллеры Horiba предлагаемые в данном разделе:
МАССОВЫЕ РАСХОДОМЕРЫ И РЕГУЛЯТОРЫ РАСХОДА ЖИДКОСТЕЙ (РРЖ) серии LF/LV.
Основаны на первом в мире сенсоре с уникальным методом охлаждения
Принцип действия :
Датчик регулятора расхода жидкости (РРЖ) серии LF/ LV состоит из электронного охлаждающий элемент (элемент Пельтье), находящегося в контакте с капиллярной трубкой, а также нескольких температурных датчиков. При протекании жидкости датчик фиксирует рост температуры (dТ), соответствующий расходу и показывает значение в единицах расхода. В отличие от методов, где используется нагревание жидкости, метод измерения с охлаждением позволяет измерять расход жидкостей с низкой температурой кипения. Этот метод также позволяет избежать проблем связанных с помехами, возникающими вследствие испарения, и значительно повышает точность делать измерений.
РРЖ серии LV аналогичен регулятору серии LF, при этом в него дополнительно включен клапан с пьезоприводом и внутренний контрольный контур сравнения. Контроллеры этой серии сравнивают установленный сигнал расхода и сигнал расхода на выходе и автоматически контролируют проходное отверстие клапана так, чтобы оба сигнала были равны. Поскольку они используют систему контроля с обратной связью, расход жидкости не изменяется и стабилен, несмотря на влияние внешних факторов. Это позволяет проводить точный контроль расхода. Использование контрольного клапана с пьезоприводом, обладающего стабильностью и не выделяющим тепло, делает эти приборы идеальными для контроля жидкостей с низкой температурой кипения.
