Высокочастотные генераторы и источники питания (RF и DС)
от лидера технологии компании COMDEL (США)
Представляем продукцию компании COMDEL - лидера мирового рынка в разработке и производстве инновационных источников питания (RF и DС) и технологических устройств для полупроводниковых производств, производств плоских дисплеев и промышленного нагрева. Продукция компании включает RF генераторы, авто согласующие полное сопротивление мониторы и источники питания для электро-статических столов-держателей (chuck) подложек. Вся продукция COMDEL сертифицирована в соответствии с требованиями стандартов ETL, NRTL, SEMI F47 и европейских директив CE.
Все производимые высокочастотные (RF) источники основаны наS-Технологии, разработанной в COMDEL, которая обеспечивает быструю и стабильную настройку согласующего устройства и генератора при изменении параметров плазмы в рабочей камере.
Это позволяет выполнять все требования технологического процесса любой сложности и продлевает срок службы генераторов и согласующих устройств, а также повышает надежность всей системы в целом
Разработаны под высокие требования плазменных полупроводниковых установок. Приложения включают в себя: травление, RIE, ICP, RF напыление, CVD и PVD, также как и процессы индуктивного и диэлектрического нагрева в промышленных установках.
Диапазон установленных мощностей от 600Вт до 10’000Вт с фиксированными частотами от 20кГц до 2 МГц (серия CLX*), от 20кГц до 450кГц (серия CLF*) и возможностью специальной настройки в пределах +-10% в полосе пропускания частоты.
1.2. Высокочастотные источники серий CB, СX и CPS*
Стандартные фиксированные частоты серии СВ*: 13.56, 27.12, 40.68 и 60 МГц с выбором мощностей от 50Вт до 5000Вт
Серия CX* : выбор мощностей от 600Вт до 3500Вт, с возможностью выбора фиксированных частот из ряда: 2.00, 3.39, 13.56, 27.12 МГц.
Серия CPS*: выбор фиксированных частот в диапазоне от 2.00 до 80 МГц, выбор мощностей из ряда: 500Вт,1000Вт.
Обеспечивают стабильность по частоте +-0.005%, по мощности +-2%.
Гибридные источники серии CXH* разработаны для подведения питания большой мощности: 15кВт, 25кВт и 50кВт и обеспечения фиксированных частот в диапазоне от 2 МГц до 40МГц. Приложения включают: промышленную сушку, сварку пластиков, рост кремниевых кристаллов и производство плоских дисплеев. Расширение серии СХ до больших мощностей стало возможным благодаря созданию источников серий CX 5K и СX 10K*. Мощности этих источников 5кВт и 10кВт соответственно с возможностью установки частоты в диапазоне от 2МГц до 30МГц.
Эти источники серии CDX*позволяют поддавать питание сразу в двух диапазонах. Высокочастотная секция источника обеспечивает мощность от 600Вт до 1000Вт и выбор частот от 2 до 60 МГц. Низкочастотная секция позволяет также подводить от 600Вт до 1000Вт мощности в диапазоне от 20 кГц до 2 МГц.
Обеспечивают до 1000 Вт мощности и 3кВ постоянного напряжения (DC) на выходе при подаче переменного напряжения в диапазоне от 180 В до 252 В и частотах 50/60Гц. Идеальны для реактивного PVD напыления и нанесения твердых покрытий в промышленности.
Источники серии ESC* разработаны специально для обеспечения стабильной подачи напряжения 1, 2, 3 и 5 кВ на электростатические столы-держатели в полупроводниковых системах передачи подложек (wafers). Отвечают всем требованиям безопасности, предъявляемым ETL, NRTL и СЕ.
Каждая система MatchPro разработана в Comdel на основе уникального алгоритма PROTRAK, который обеспечивает высокоскоростную настройку системы при постепенном ее замедлении и приближении к точке согласования. Точное и быстрое согласование обеспечивается даже при высоких нагрузках. MatchPro изменяет полное входное сопротивление системы до 50 Ом быстро, точно и надежно в ответ на изменение в характеристиках нагрузки во время вашего процесса. Системы MatchPro производятся для мощностей от 50 Вт до 80’000 Вт и могут быть настроены для фиксированных частот в диапазоне от 2 Мгц до 60 МГц.
-----
